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全氟化橡胶

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全氟化橡胶特色:

全氟化橡胶(FFKM)是由TFE(主链)丶PMVE(支链)及架桥所构成,它不仅具有像PTFE一样优异的耐高温,耐化学腐蚀的性能超(可耐1600余种化学品的腐蚀),还兼备了橡胶的高弹性,其在300℃时压缩变形率也仅在50%以下。FFKM在与侵蚀性液体的浸渍或直接接触中依然能保持其弹力和回弹性能。事实上,FFKM的热稳定性往往超过了那些液体本身。全氟弹性体还具有优异的气密性(耐真空度可达1.33*10 -7pa~1.33*10 -8pa)和高洁净性以及耐离子体性,这些特点在半导体行业的应用也非常广泛。全氟化橡胶常用於化工行业以及强腐蚀性的介质和高温的场合。

全氟化橡胶应用:

  • 耐化学型:分子结构和聚四氟乙烯相似,应用在湿制程环境中,适用於腐蚀性化学介质,能抵御几乎所有化学试剂的侵蚀,包括有机酸丶无机酸丶强硷丶酮类丶脂类丶醇类丶油类。
  • 耐高温型:高温环境下的密封应用,杰出的抗高温硬化的性能,又兼具橡胶的弹性,使用温度范围:-20℃ ~ +290℃(更高的连续使用温度330℃),耐高温性能材料可开发成多种密封件制品:O型圈丶油封丶膜片,适用於扩散制程丶布植退火制程丶快速热制程丶航天和半导体工业等应用。
  • 高洁净型:电浆制程中需要有有高洁净弹性密封材料,全氟化橡胶制造过程中添加或不添加极少填充物与弹性硫化剂因此能确保密封材料高洁净度,大幅提高制程良率。

优点:最佳耐热特性丶优异的抗化学特性丶低出气特性丶 优异之抗等离子体特性。                        

缺点:耐低温特性较差。原料价格较高。生产难度较高。

全氟化橡胶系列产品在半导体工业(薄膜制程中之聚氯乙烯,化学气相沈积及蚀刻制程及各种高真空密封制程),化学工业,汽车工业,石油工业,制药工业,电子产品,溶剂设备,核工业,航天设备及其他耐热机械等,在苛刻的环境中,充分发挥其卓越的作用,至今为止,全氟化零部件已在众多行业拥有近40年以上实际应用。